Чувствительные элементы на основе кремния 2,6x2,6мм
- Главная
- Продукция и услуги
- МЭМС
- Чувствительные элементы
- Чувствительные элементы на основе кремния 2,6x2,6мм
Описание и область применения
Чувствительный элемент представляет собой кремниевый кристалл с формированными в нём тензорезисторами, схемотехнически соединённые в тензомост и имеет встроенный терморезистор.
Изделие преобразует давление в электрический сигнал.
Является одной из основных составных частей первичного преобразователя датчиков абсолютного и избыточного давлений.
Подходит для изготовления надёжных датчиков систем контроля и управления разнообразными технологическими процессами во многих отраслях промышленности, жилищно-коммунальном хозяйстве, авиации, медицине и т.д.
Особенности
|
Габариты кристалла, мм |
2,6 х 2,6 |
|
Рабочее давление (Рраб), МПа |
0,1..10,0 |
| Давление перегрузки, МПа |
≥ 1,5 Pраб |
| Давление разрушения, МПа |
≥ 3 Pраб |
| Диапазон рабочих температур (Траб), оС |
-60 .. +125 |
| Сопротивление тензомоста (RM), кОм |
3 .. 4,5 |
| Напряжение питания постоянного тока (UП), В |
< 8 |
| Выходное напряжение (Uвых), мВ (при давлении = Pраб , Tраб = 25°С, Uп = 5В) |
≥ 60 |
| Напряжение смещения нуля (Uсм), мВ (при давлении = 0МПа, Tраб = 25°С, Uп = 5В) |
не более ±15 |
| Температурный коэф. выходного напряжения (αUвых), %/°С (при Tраб от -60°С до 125°С, Uп = 5В) |
≤0,2 |
| Температурный коэф. выходного напряжения (αUвых *), %Uвых (при Tраб от -20°С до 80°С, Iп = 1,5мА) |
≤ 1 |
| Сопротивление терморезистора (RT), кОм (при Tраб = 25°С, Uп = 5В) |
18 .. 45 |
| Температурный коэф. сопротивления терморезистора (αRт ), %/ºC (при Tраб до -60°С до 125°С, Uп = 5В) |
≥ 0,6 |
| Погрешность (Y), %Uвых (при Tраб от -60°С до 125°С, Uп = 5В) | 0,15; 0,25 |
Связаться с нами